Understanding Key Molecular Properties in a CVD Process Feasibility Study

Autor: Rolf Claessen

Język:

Oprawa: Miękka

Wydawca: Books on Demand

Dostępność: Dostępna u dostawcy

Wysyłamy za 5-8 dni

111.84 zł

Dieses Buch untersucht das Grundprinzip des Designs von Vorläufermolekülen für CVD Prozesse. Der Eff...

Informacje o książce

Autor

Rolf Claessen

Język

Niemiecki

Oprawa

Książka - Miękka

Data wydania

2002

strony

212

EAN

9783831142743

ISBN

9783831142743

Enbook ID

08921940

Wydawca

Books on Demand

Waga

386

Wymiary

189 x 246 x 11

Pełny opis

Dieses Buch untersucht das Grundprinzip des Designs von Vorläufermolekülen für CVD Prozesse. Der Effekt von molekularen Eigenschaften dieser Moleküle auf den CVD Prozess wird sowohl experimentell als auch theoretisch erforscht. Eine neuartige Klasse von Liganden und resultierenden Komplexen wird als Beispiel für maßgeschneiderte Vorläufermoleküle für CVD Prozesse demonstriert. Haupteigenschaften wie z.B. thermische Zersetzung und Flüchtigkeit können unabhängig eingestellt werden und auf den indiviuellen CVD Prozess abgestimmt werden. This book examines the rationale of precursor design for a CVD (Chemical Vapor Deposition) process. The effect of molecular properties on the CVD process outcome is investigated experimentally and computationally. A novel class of ligands and resulting complexes is demonstrated as an example of tailormade precursors for CVD processes. Key properties such as thermal decomposition and volatility are shown to be independently tunable and can be adjusted to the individual process needs

Możesz być zainteresowany

Klienci, którzy kupili tę książkę, kupili również

Najczęściej wyszukiwane

Categories

Authors

Publishers

Produkty

Produkty

Najczęściej wyszukiwane

Categories

Authors

Publishers

Produkty

Produkty

Understanding Key Molecular Properties in a CVD Process Feasibility Study

Informacje o książce

Pełny opis

Możesz być zainteresowany

Klienci, którzy kupili tę książkę, kupili również