Silizium-Halbleitertechnologie

Name: Silizium-Halbleitertechnologie
Brand: Springer, Berlin
SKU: 9783658423773
Price: 157.35 PLN
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Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik

Autor: Ulrich Hilleringmann

Język:

Oprawa: Miękka

Wydawca: Springer, Berlin

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157.35 zł

Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroel...

Informacje o książce

Autor

Ulrich Hilleringmann

Język

Niemiecki

Oprawa

Książka - Miękka

Data wydania

2023

strony

324

EAN

9783658423773

Enbook ID

43704690

Wydawca

Springer, Berlin

Waga

516

Wymiary

168 x 240

Pełny opis

Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen Nanometern gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessführung erläutert. Moderne 3D-Bauformen für Feldeffekttransistoren runden den Inhalt ab.

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