Silicon Semiconductor Technology

Name: Silicon Semiconductor Technology
Brand: Springer, Berlin
SKU: 9783658410407
Price: 269.67 PLN
Availability: InStock

Processing and Integration of Microelectronic Devices

Autor: Ulrich Hilleringmann

Język:

Oprawa: Miękka

Wydawca: Springer, Berlin

Dostępność: Dostępna u dostawcy

Wysyłamy za 8-11 dni

269.67 zł

The book presents the basic steps and the technical implementation of individual processes for micro...

Informacje o książce

Autor

Ulrich Hilleringmann

Język

Angielski

Oprawa

Książka - Miękka

Data wydania

2023

strony

276

EAN

9783658410407

Enbook ID

43050800

Wydawca

Springer, Berlin

Waga

524

Wymiary

168 x 240

Pełny opis

The book presents the basic steps and the technical implementation of individual processes for microelectronic circuit integration in silicon. Interaction and influences of e. g. oxidation, etching, doping and thermal processes for integrating CMOS- and Bipolar circuits are discussed in detail, beginning with the purification of silicon up to the encapsulated integrated circuit. It includes modern processes like atomic layer deposition and etching for nanoscale structures and compares improvements like silicide contacts, copper metallization, high-k dielectrics, and SOI and FINFET structures. All processes are presented looking from the process engineer's view.

Możesz być zainteresowany

Klienci, którzy kupili tę książkę, kupili również

Najczęściej wyszukiwane

Categories

Authors

Publishers

Produkty

Produkty

Najczęściej wyszukiwane

Categories

Authors

Publishers

Produkty

Produkty

Silicon Semiconductor Technology

Processing and Integration of Microelectronic Devices

Informacje o książce

Pełny opis

Możesz być zainteresowany

Klienci, którzy kupili tę książkę, kupili również