Rapid Thermal and Integrated Processing IV: Volume 387

Name: Rapid Thermal and Integrated Processing IV: Volume 387
Brand: Materials Research Society
SKU: 9781558992900
Price: 109.72 PLN
Availability: PreOrder

Autor: Steven R. J. BrueckJeffrey C. GelpeyAhman KermaniJorgé L. Regolini

Język:

Oprawa: Twarda

Wydawca: Materials Research Society

Dostępność: Dodruk

Termin nieznany

109.72 zł

The fourth in a continuing series on rapid thermal processing (RTP), this volume addresses work in t...

Informacje o książce

Autor

Steven R. J. BrueckJeffrey C. GelpeyAhman KermaniJorgé L. Regolini

Język

Angielski

Oprawa

Książka - Twarda

Data wydania

1995

strony

455

EAN

9781558992900

ISBN

1558992901

Enbook ID

02060050

Wydawca

Materials Research Society

Waga

795

Wymiary

160 x 231 x 30

Pełny opis

The fourth in a continuing series on rapid thermal processing (RTP), this volume addresses work in traditional RTP processes such as dielectric growth, annealing and silicides, as well as developments in integrated processes. The primary focus, however, is the manufacturing aspects of RTP and the successful integration of RTP into production semiconductor fabs. Emphasis is placed on process and equipment modelling and the critical aspects of RTP, such as temperature measurement, uniformity and control. Topics include: modelling, sensors and control; integrated processing and manufacturing; dielectrics; epitaxy, polysilicon and devices; and junctions, metallization and contacts.

Możesz być zainteresowany

Klienci, którzy kupili tę książkę, kupili również

Najczęściej wyszukiwane

Categories

Authors

Publishers

Produkty

Produkty

Najczęściej wyszukiwane

Categories

Authors

Publishers

Produkty

Produkty

Rapid Thermal and Integrated Processing IV: Volume 387

Informacje o książce

Pełny opis

Możesz być zainteresowany

Klienci, którzy kupili tę książkę, kupili również