On UV-Nanoimprint-Lithography as Direct Patterning Tool for Polymeric Microsystems

Name: On UV-Nanoimprint-Lithography as Direct Patterning Tool for Polymeric Microsystems
Brand: TUDpress Verlag der Wissenschaften GmbH
SKU: 9783942710657
Price: 149.7 PLN
Availability: InStock

Autor: Robert Kirchner

Język:

Oprawa: Miękka

Wydawca: TUDpress Verlag der Wissenschaften GmbH

Dostępność: Dostępna u dostawcy

Wysyłamy za 8-11 dni

149.70 zł

This thesis was prepared between July 2007 and August 2011 at the Institute of Semiconductors and Mi...

Informacje o książce

Autor

Robert Kirchner

Język

Angielski

Oprawa

Książka - Miękka

Data wydania

2012

strony

216

EAN

9783942710657

ISBN

394271065X

Enbook ID

09160389

Wydawca

TUDpress Verlag der Wissenschaften GmbH

Waga

320

Wymiary

148 x 210 x 13

Pełny opis

This thesis was prepared between July 2007 and August 2011 at the Institute of Semiconductors and Microsystems (IHM) of the Technische Universität Dresden (TU Dresden) in cooperation with the Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems (IPMS) in Dresden. The scope of this work was UV-based nanoimprint lithography (UV-NIL). This alternative lithography technique can be applied to replicate polymer structures in a single patterning step with only minimal post-processing steps. The polymer patterns are then directly used as final device structures. The focus of this work was put on photonic waveguides which can be used, e.g., for optical micro-transducers in biosensors. The developed set of basic techniques and the proposed step-and-repeat UV-NIL technique with spin-coated films should contribute to further development in the field of direct polymer patterning by nanoimprinting, to ongoing research at the IHM / IPMS and can be adapted for many other polymeric microsystems.

Możesz być zainteresowany

Klienci, którzy kupili tę książkę, kupili również

Najczęściej wyszukiwane

Categories

Authors

Publishers

Produkty

Produkty

Najczęściej wyszukiwane

Categories

Authors

Publishers

Produkty

Produkty

On UV-Nanoimprint-Lithography as Direct Patterning Tool for Polymeric Microsystems

Informacje o książce

Pełny opis

Możesz być zainteresowany

Klienci, którzy kupili tę książkę, kupili również