Książka Micro and Nano Fabrication Hans-Heinrich Gatzen

Micro and Nano Fabrication

Tools and Processes

Język: Angielski
Oprawa: Twarda
Dostępność: Dostępna u dostawcy
Wysyłamy za 10-13 dni
507.48
For Micro and Nano Electro-Mechanical Systems (MNEMS) production, each product requires a unique pro...

Informacje o książce

Język
Angielski
Oprawa
Książka - Twarda
Data wydania
2015
strony
519
EAN
9783662443941
ISBN
3662443945
Enbook ID
05158609
Waga
952
Wymiary
164 x 240 x 31

Pełny opis

For Micro and Nano Electro-Mechanical Systems (MNEMS) production, each product requires a unique process technology.§This book provides a comprehensive insight into the tools required for fabricating MNEMS systems and the process technologies applied. Besides, it describes the enabling technologies which are necessary for successful production, i.e., wafer planarization and bonding, cleanroom, or gas and surface analysis.

Możesz być zainteresowany

96.14

Buried Book

D. M. Pulley
52.59

Essay Collection

Mianne Adufutse
25.64

Mark

Jerry B Jenkins
60.04

Bart Starr

David Claerbaut
95.94
129.25
137.80

Shameful Business

James A. Gross
694.90

At Stake

Edward Ingebretsen
468.80

Klienci, którzy kupili tę książkę, kupili również

56.96