Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques

Name: Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques
Brand: Springer, Berlin
SKU: 9783642630965
Price: 1444.04 PLN
Availability: InStock

Autor: R.J. Shul, S.J. Pearton

Język:

Oprawa: Miękka

Wydawca: Springer, Berlin

Dostępność: Dostępna u dostawcy

Wysyłamy za 10-18 dni

1 444.04 zł

This volume covers the topic of advanced plasma processing techniques, from the fundamental physics...

Informacje o książce

Autor

R.J. Shul, S.J. Pearton

Język

Angielski

Oprawa

Książka - Miękka

Data wydania

2012

strony

655

EAN

9783642630965

ISBN

3642630960

Enbook ID

02685078

Wydawca

Springer, Berlin

Waga

1015

Wymiary

155 x 235 x 35

Pełny opis

This volume covers the topic of advanced plasma processing techniques, from the fundamental physics of plasmas to diagnostics, modeling and applications such as etching and deposition for microelectronics. The use of plasmas for patterning on a submicron scale has enabled successive generations of continually smaller transistors, lasers, micromachines, sensors and magnetic read/write heads that have formed the basis of our information age. This volume is the first to give coverage to this broad area of topics in a detailed fashion, especially in the rapidly expanding fields of micro-mechanical machines, photomask fabrication, magnetic data storage and reactor modeling. It provides the reader with a broad array of topics, authored by the leading experts in the field.

Możesz być zainteresowany

Klienci, którzy kupili tę książkę, kupili również

Najczęściej wyszukiwane

Categories

Authors

Publishers

Produkty

Produkty

Najczęściej wyszukiwane

Categories

Authors

Publishers

Produkty

Produkty

Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques

Informacje o książce

Pełny opis

Możesz być zainteresowany

Klienci, którzy kupili tę książkę, kupili również